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EddyCus® map 2530RM電阻率測試儀

簡要描述:EddyCus® map 2530RM電阻率測試儀在非接觸模式下自動測量大型樣品的薄層電阻,最大可達300×300平方毫米(12×12英寸)。在手動樣品定位時,該設(shè)備會自動測量并顯示整個樣品區(qū)域的薄層電阻的準確映射。測量設(shè)置允許輕松靈活地在低于 1 分鐘的快速測量時間或超過 10,000 個測量點的高空間測量分辨率之間進行選擇。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時間:2024-06-08
  • 訪  問  量:337

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品牌其他品牌產(chǎn)地類別國產(chǎn)
類型其他應(yīng)用領(lǐng)域能源,電子,電氣

EddyCus® map 2530RM電阻率測試儀在非接觸模式下自動測量大型樣品的薄層電阻,最大可達300×300平方毫米(12×12英寸)。在手動樣品定位時,該設(shè)備會自動測量并顯示整個樣品區(qū)域的薄層電阻的準確映射。測量設(shè)置允許輕松靈活地在低于 1 分鐘的快速測量時間或超過 10,000 個測量點的高空間測量分辨率之間進行選擇。

EddyCus® map 2530RM電阻率測試儀

EddyCus® map 2530RM電阻率測試儀產(chǎn)品介紹:

EddyCus® map 2530系列在非接觸模式下自動測量大型樣品的薄層電阻,最大可達300×300平方毫米(12×12英寸)。在手動樣品定位時,該設(shè)備會自動測量并顯示整個樣品區(qū)域的薄層電阻的準確映射。測量設(shè)置允許輕松靈活地在低于 1 分鐘的快速測量時間或超過 10,000 個測量點的高空間測量分辨率之間進行選擇。

EddyCus® map 2530RM電阻率測試儀




產(chǎn)品特點:

· 非接觸式

· 快速、高重復(fù)度測量

· 高分辨率成像

· 最大 300 x 300 mm(12")的樣品成像測量

· 封裝的導電層的表征

· 軟件集成分析功能,例如電阻均一性分布、線掃描、單點分析

· 測量數(shù)據(jù)保存和導出功能

· 缺陷識別、分析


產(chǎn)品優(yōu)勢:

·  非接觸式成像

·  高速 (5 分鐘測量10,000個檢測點)

·  重復(fù)性和精確性

·  高分辨率 (9 90,000個檢測點)

·  封裝后的膜層成像

·  均勻性和缺陷成像


產(chǎn)品參數(shù)

測量技術(shù)

非接觸式渦流傳感器

基材

晶圓(錠)、玻璃、箔等

最大限度。掃描區(qū)域

12 英寸/300 毫米 x 300 毫米(根據(jù)要求更大)

邊緣效應(yīng)校正/排除

2 10 毫米(取決于尺寸、范圍、設(shè)置和要求)

最大限度。樣品厚度/傳感器間隙

3 / 5 / 10 / 15 毫米(由最厚的樣品定義)

金屬薄膜(如鋁、銅)的厚度測量

2 nm 2 mm (根據(jù)薄層電阻)

掃描間距

1 / 2.5 / 5 / 10 / 25 毫米(其他應(yīng)要求提供)

每次測量點數(shù)(方形樣品)

0.5 分鐘 100

個測量點 3 分鐘 10,000 個測量點

掃描時間

8 英寸/200 毫米 x 200 毫米,1 10 分鐘(1 – 10 毫米間距)

12 英寸/300 毫米 x 300 毫米,2 6 分鐘(2.5 – 25 毫米間距)

設(shè)備尺寸 (w/h/d)

31.5" x 19.1" x 33.5" / 785 毫米 x 486 毫米 x 850 毫米

重量

90公斤

更多可用功能

金屬厚度成像、各向異性和薄層電阻傳感器


VLSR

LSR

MSR

HSR

VHSR

范圍 [歐姆/平方]

0.00010.1

0.110

0.1100

102000

1,000200,000

精度/偏差



± 1%

± 13%

± 3 5%

重復(fù)性 (2σ)



< 0.5%

< 1%

< 0.5%

軟件和設(shè)備操控:

· 人性化的軟件

· 實時測繪測量

· 易于使用的統(tǒng)計分析選項

· 預(yù)定義的測量和產(chǎn)品配方(尺寸、間距、閾值)

· CSV 和 pdf 導出

· 3 用戶級別

· 用于參數(shù)轉(zhuǎn)換的材料數(shù)據(jù)庫

· 邊緣效應(yīng)補償

· 數(shù)據(jù)的存儲和導入

· 數(shù)據(jù)集的導出(例如到 EddyEva、MS Excel、Origin)



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